離子滲氮爐操作要點(diǎn)：

　　1、抽真空。接通總電源，關(guān)閉蝶閥，起動(dòng)真空泵，緩慢打開(kāi)蝶閥，以避免發(fā)生噴油現(xiàn)象，抽真空至很小真空度。

　　2、向爐內(nèi)通少量氨氣或氨分解氣，沖洗爐體幾分鐘。在真空度為67Pa左右時(shí)，可對(duì)爐內(nèi)輸入400~500V高壓電流電，使工件起輝，對(duì)工件打散弧以活化工件表面。

　　3、在30~ 60min內(nèi)使輝光穩(wěn)定，逐步減少限流電阻或降低滅弧靈敏度。

　　4、按工藝調(diào)整真空度、電壓、電流、氣體流量等參數(shù)。真空度應(yīng)通過(guò)調(diào)整流量計(jì)和蝶閥來(lái)進(jìn)行，使抽氣速率平穩(wěn)。

　　5、升溫過(guò)程中要注意經(jīng)常觀察爐內(nèi)工作情況，如出現(xiàn)打弧或局部溫度過(guò)高等現(xiàn)象時(shí)，要及時(shí)調(diào)整各項(xiàng)參數(shù)，降低電壓，以降低升溫速度，或暫停供氣。

　　6、通冷卻水，爐體溫度應(yīng)控制在40~60℃。

　　7、在保溫階段，所需的電流密度小于升溫時(shí)所需的電流密度，真空度為267~800Pa，輝光層厚度一般為1.5~3mm。保溫期間應(yīng)穩(wěn)定氣體流量和抽氣率，以穩(wěn)定爐內(nèi)氣壓，也應(yīng)隨時(shí)觀察爐內(nèi)工作狀況，發(fā)現(xiàn)情況及時(shí)處理。

　　8、保溫結(jié)束后即可降溫。先停止供氣，關(guān)閉氣源、電磁閥;然后停止供電：調(diào)低電壓，切斷高壓電源，將有關(guān)旋鈕、開(kāi)關(guān)及手柄復(fù)位。

　　9、將爐內(nèi)抽至很小真空度，關(guān)閉蝶閥，停止真空泵。

　　10、根據(jù)工藝需要、工件復(fù)雜程度及變形要求等實(shí)際情況，控制冷卻速度。方法是：若要降低冷卻速度，可以停止向爐內(nèi)供氣，停止抽氣，以小電流維持弱輝光，待工件溫度降至300℃以下時(shí)再加快冷卻速度。若要加快冷卻速度，可以關(guān)掉高壓，繼續(xù)送氣、抽氣，加大冷卻水量。

　　11、設(shè)備完全冷卻后停止冷卻水。工件溫度降至150℃以下時(shí)，即可打開(kāi)放氣閥向爐內(nèi)充氣，充氣結(jié)束后再起吊出爐。