離子氮化爐是利用輝光放電效應對金屬零件進行氮化處理用的一種電爐設備。它是一種新的表面熱處理工藝，對提高鋼鐵零件的耐磨性、耐疲勞和抗腐蝕性具有顯著效果。

　　離子氮化爐的工作原理是：把被處理的工件放在真空容器內，并與陰極相連，然后把容器內部抽真空到10—1Pa，再沖入少量的氮氫混合奇特。在陰極與陽極之間加上一定電壓直流電，使氣體發生電離，產生輝光放電。由此產生的氨正離子在電場作用下轟擊工件（陰極），將工件表面加熱到所需溫度，同時在工件表面上奪取電子，與基本金屬形成氨化層。

　　輝光放電是稀薄氣體放電，也是一種自激放電。它和弧光放電的區別是氣體稀薄，陰極是冷電極，陰極區壓降較大，其余部位壓降較小。工作時，正離子轟擊陰極，使之發射電子，在電場作用下電子運動加速，碰撞氣體分子，激發氣體分子發光和電離，發射的電子少，放電電流小，輝光放電的特點是發光多而發熱少。日光燈就是輝光放電的一個應用實例。

　　在與普通氣體氮化爐相比，離子氮化爐具有以下優點：處理周期短，產生效率高，耗電小；零件變形小，氮化層無脆性層，不必在處理后再加工；對材料的適用型較廣；勞動條件好，對環境污染少。但離子氮化爐用于小孔內壁的氨化處理較困難。在離子氨化的基礎上，離子軟氨化離子滲氮供滲和離子滲碳等工藝正在發展中。