對于低真空測量儀器，尤其是武漢離子氮化爐設備，目前，國內外使用的真空計有壓縮真空計、電阻真空計和膜片真空計。

　　1.真空測量儀

　　1.壓縮旋轉真空計

　　壓縮旋轉式真空計可用于測量爐內不凝氣體的壓力。測量值具有良好的重復性和準確性，但不能連續測量。由于汞的揮發，不適合長時間與爐相通。每次測量后，應夾緊并密封真空軟管。在沒有正確的測量儀表的情況下，尤其是工藝試驗需要精確測量壓力時。

　　2。電阻真空計

　　基于熱傳導原理的電阻真空計是一種相對便宜的儀器。但在離子滲氮的應用中，由于氫氣的存在，其導熱系數與氮氣和空氣相差近7倍，所以測量值誤差較大，特別是高壓較強時，指示值可超出范圍，但也可作為爐極限真空或點火前真空的測試。

　　3.膜片真空計

　　武漢離子氮化爐設備配備的隔膜真空計和國內半自動控制離子氮化設備配備的隔膜真空計都是在隔膜上安裝應變元件形成電橋，規管一端接基準真空室，另一端接待測爐體的類型。發現這種真空計與被測氣體的成分關系不大，但存在零點漂移、膜片恢復時間長等缺點，且價格相對較高。

　　2.爐膛壓力控制系統

　　武漢離子氮化爐的氣壓是氣流動態平衡的結果。爐膛壓力控制可通過兩種方法實現:固定抽速、調節入口流量或不固定入口流量、調節抽速。